環境への取り組み
東芝 セミコンダクター社 四日市工場は、東芝が世界で初めて開発した「NAND型フラッシュメモリ」を生産しています。2007年9月に世界最大級(※1)の生産能力を有する第四製造棟が完成し、導入した省エネ型の新クリーンルームは、従来に比べ50%(※2)を超えるCO2排出量削減を達成しています。
半導体製造時は、クリーンな空調環境が不可欠で大量の電力を必要とします。そこで新クリーンルームは、部屋全体ではなく、半導体の加工や搬送に必要な部分だけクリーン度を高める「局所空調システム」を採用し大幅に電力を削減しています。
さらに、変圧器の電力ロス改善、動力機器のインバーター採用、照明機器の低消費電力化により省エネを徹底しています。
東芝 セミコンダクター社 四日市工場は、環境に配慮した製品づくりでも世界をリードしていきます。

- ※1:最大生産能力が月産20万枚以上(当社調べ)
- ※2:当社従来(第二製造棟)のクリーンルームと比べた単位床面積あたりのCO2排出量
環境関連のトピックス
- 「環境報告書(2010年度版)」を発行しました。

- 東芝総合環境監査を受審しました。
- 東芝が独自に構築した「東芝総合環境監査」を2009年度は2010年1月28日・29日に受審。高い評価を受けました。
- エコインターンシップを実施しました。
- 環境省では、大学生や大学院生を企業環境管理部門等にてインターンシップ生として受入れする取り組みを2007年度より開催しています。(株)東芝 セミコンダクター社も本社、並びに四日市工場にて学生受入れを実施し、環境問題を解決していくための社会の在り方などについて考える機会を提供しました。
- IPA除去装置の開発について (ニュースリリース(別ウィンドウで開きます))
- 株式会社東芝(以下「東芝」)と大日本スクリーン製造株式会社(以下「大日本スクリーン」)は、半導体製造ラインの洗浄工程で、ウエーハ洗浄装置から揮発により大気中に放出されるIPA(イソプロピルアルコール)を約75%除去する装置を共同開発しました。
- 四日市工場への乾式排ガス処理装置の導入 (ニュースリリース(別ウィンドウで開きます))
- 当社は、温室効果ガスのひとつであるPFCガス*のフッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウムに固定化することで、水を使用せずに除去することができる乾式排ガス処理装置を、2008年度から四日市工場第4製造棟へ導入することを決定しました。
- PRTR優秀賞審査員特別賞受賞 (別ウィンドウで開きます)
- (株)東芝 四日市工場は、第4回PRTR大賞において、「PRTR優秀賞審査員特別賞」長を受賞しました。
- 環境に配慮した東芝四日市工場 第四製造棟の竣工について
- 2007年9月4日、半導体主力工場である東芝四日市工場に、「NAND型フラッシュメモリ」の世界最大級の生産能力を有する第四製造棟が完成し、竣工式を行いました。
四日市工場の環境への取り組み
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